L.TEX8900シリーズ 高耐圧ピエゾ駆動パルスバルブ 有限会社エルテックスは目的に応じた最適のシステムをお届けします。
超臨界状態の流体を所定の間隔で高圧のまま気体状にジェット噴射が可能なパルスバルブです。従来のものは圧力が１０ＭＰａ程度の噴射が限界でしたが、駆動源に高性能圧電素子（ピエゾ素子）を採用したことにより３０ＭＰａまでの高圧下での安定した噴射が可能となり、さらにバルブの開閉時間が１００μｓ以下の高速応答性を実現しました。
バルブヘッド部の温調（～１００℃）や真空チャンバーへの取り付けなどお客様のご要望に対応したカスタムメイドが可能です。
| L.TEX8902シリーズ パルスバルブ仕様 | |
|---|---|
| 最大使用圧力 | 30MPa |
| 最高使用温度 | 100℃ |
| 接ガス部材質 | SUS316、ジルコニアセラミックス、ポリイミド樹脂 |
| ジェットノズル口径 | φ0.5mm |
| 配管接続口径 | φ1/16×0.5(SUS316チューブ) |
| バルブ駆動方式 | ピエゾ素子による高速応答型アクチュエータ |
| 最大ストローク | 132μm |
| 応答速度 | 0.08ms(ΔV=100V時) |
| 発生力 | PUSH時 800N PULL時 300N |
| 外形寸法 | φ35×L208(バルブ部) ピエゾアクチュエータ部含む・取付け用フランジ含まず |
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